石英舟
簡介：
一種生長低熔點半導體材料用的滑動石英舟，涉及一種生長低熔點半導體材料用的生長舟。采用高純石英制作，由上面的壓塊下面的底板及壓塊、固結的石英推桿組成，底板上設有一個凹槽，凹槽內放置襯底；壓塊中部設有兩個垂直方向貫通壓塊的井，井內放置生長溶液，其平底部分的底面被拋光，光滑度達到鏡面級，以便使生長出的外延層表面光滑；壓塊與底板匹配且壓塊按需要沿底板水平移動。石英不吸附雜質，電學性能好；外延層的截止波長不隨外延層厚度變化，特別適合生長窄禁帶材料
退火溫度：1500
軟化溫度：1760℃
長期工作溫度：1200℃
短期工作溫度：1300℃
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