半導體行業石英舟 石英儀器 中成石英定制
簡介:
一種生長低熔點半導體材料用的滑動石英舟,涉及一種生長低熔點半導體材料用的生長舟。采用高純石英制作,由上面的壓塊下面的底板及壓塊、固結的石英推桿組成,底板上設有一個凹槽,凹槽內放置襯底;壓塊中部設有兩個垂直方向貫通壓塊的井,井內放置生長溶液,其平底部分的底面被拋光,光滑度達到鏡面級,以便使生長出的外延層表面光滑;壓塊與底板匹配且壓塊按需要沿底板水平移動。石英不吸附雜質,電學性能好;外延層的截止波長不隨外延層厚度變化,特別適合生長窄禁帶材料
退火溫度:1500
軟化溫度:1760℃
長期工作溫度:1200℃
短期工作溫度:1300℃
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